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特性
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ISA 100Z - 5Z |
| cod. ISA ..... |
10 |
K50 |
W10 |
100 |
5 |
W1 |
1 |
W05 |
| 參考零點 |
按需求 |
cod.Z |
| 行程 |
cod.0250-0300-0350…0700mm |
| 柵距 P µm |
400 |
400 |
400 |
40 |
20 |
40 |
40 |
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